| 产品特性：EP级内抛光 | 是否进口：否 | 产地：日本 |
| 加工定制：否 | 品牌：horiba | 型号：Z512 |
| 类型：质量流量计 | 测量范围：0.6m3/h | 精度等级：1 |
| 公称通径：6mm | 适用介质：腐蚀性气体 | 工作压力：1MPa |
| 工作温度：25℃ | 规格：Z512、Z514 | 输出信号：0-5V，或者RS485 |
| 接口尺寸：1/4MVCR | 洁净度等级：EP级 | 适用设备：半导体设备 |
供应Horiba 数字式质量流量计Z514、Z512耐腐蚀流量计
***型号: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。
可选低成本数字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。
可选低成本模拟型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。
国内组装模拟型：Horiba S48 28、horiba S48 32、S300
国内组装数字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212
产品概述
日本horiba Z514、Z524数字式质量流量控制器属于SEC-500X系列，高性能数字式质量流量控制器多用于进口设备的PEVCVD、MOCVD中，国内多回收、二次销售，我公司提供***Z514、Z524，保修期1年。
产品特点
1) 多种气体及多种流量范围, 可以自由地***气体类型及更改满量程流量, 现场设定;
2) ***精度：±1.0% S.P. (25-*** F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速响应：<1秒 (全量程范围内，任意设置点);
4) 非常方便的现场设置操作;
5) 多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器，可以zui大限度地减少库存;
6) 与现有模拟式质量流量控制器完全兼容;
7) 模拟通信与数字通信(DeviceNet)可同时进行;
气体接触部件材料：SUS 316L不锈钢(1sccm ~ 50slpm F.S. 类型)；
SUS 316L不锈钢，Viton(氟化橡胶-密封)，PTFE(聚四氟乙烯)，磁性不锈钢(100 ~ 200slpm F.S. 类型)
产品参数
规格-数字-模拟转换模式 |
| 型号*1SEC-Z512、Z514SEC-Z512MGXSEC-Z522MGXNSEC-Z522MGXSEC-Z514MGXSEC-Z524MGXN SEC-Z524MGX全标准流量(N2 转换流量)1/2SCCM10SCCM-10SLPM10-50SLM阀门类型O: 通常打开 C: 通常关闭完全关闭控制阀时的流量≤ 2% F.S.流量测量范围0-*** of F.S.***性*2±1.0%F.S.±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)工作温度5 -50°C (建议温度范围: 15 -45°C)响应≤ 1 秒:超过全流量范围直线性≤ ±0.5% F.S.反复性≤ ±0.2% F.S.工作压差值≤ 300 kPa (d)zui大工作压力450 kPa (g)耐压1000 kPa (g)外部泄漏率≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)流量设定信号0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 输入阻抗 1 MΩ 或更高流量输出信号0 -5 V DC (0% - F.S.); zui小负荷阻力 2 kΩ 或更高数字界面地址功能: RS-485 (转换速度 38,400 bps)F-Net 协议,DevceNet接液部材质316L 不锈钢(表面抛光)电源+15V±5% 150mA-15V±5% 150mA信号反应模拟: D-Sub 9-pin (TOP)数字: 2 LAN jacks (TOP)标准接头*31/4 inch VCR1/4 inch VCR1.5 inch IGS选择: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS可选1.125 inch IGS安装方向自由
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*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN气体类型以及全范围设定由操作者运用特殊软件改变。 订购注意： 请提供产品的介质名称、气体量程、接口尺寸。 如是设备备件的更换，请提供原产品的背面图片和侧面图片、顶部图片。
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本公司同时提供美国AALBORG、美国Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC质量流量计、质量流量控制器、数字式质量流量控制器、耐腐蚀质量流量控制器
进口数字型号: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z516MG
进口低成本数字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N176MGM。
进口低成本模拟型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-E40V、SEC-E50V，kolfoc 3760、GFC17S、GFC37S、GFM47S、GFC57S、GFC67S、GFC77S，omega FMA1815S、
国内组装模拟型：Horiba S48 28、horiba S48 32、
国内组装数字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。
Horiba液体流量控制器LV-F20 PO、LV-F30 PO、LV-F30 PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60 PO、LV-F20 MO、LV-F40 MO、LV-F60 MO、LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F50M、LF-F60M
配套的阀门管件：韩国TKF 1/4手动隔膜阀S4DVN-VM-P、1/2手动隔膜阀S8DVN-VM-P、1/4VCR五件套S4SG19-P、S4LG19-P、UN4GT、S4MN、S4FN，
美国Valex不锈钢管，1/4”EP级不锈钢管、3/8”EP级不锈钢管、1/2”EP级不锈钢管。
